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SVH-M24
Key Features
- 진공자외선(Vacuum Ultra Violet ray)을 이용한 정전기 제거장치
- N2, Ar 등 불활성 가스에서 정전기 제거 가능
- 감압 진공 하에서 최대의 제전 성능 발휘
- 타사 대비 낮은 발열로 공정 영향 최소화
- 실시간 On/Off 제어를 통한 UV 광원 노출 최소화 (1초 이내)
- Head Fail 및 교체에 대한 정보가 실시간으로 표시
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기술지원 및 고객센터
Specifications
| Parameter | Description / Value | |
|---|---|---|
| Radiant Wavelength Range | 100nm to 200nm | |
| Window Material | MgF2 | |
| Cooling Method | Air cooling by cooling fan | |
| Operation | Temperature | 1℃ to 40℃ |
| Humidity | 20% to 90% RH | |
| Storage | Temperature | -40℃ to 70℃ |
| Humidity | 90% RH | |
| Weight | 0.56kg | |
| Guaranteed Service Life | 1 Year(보증기간) or 2,000Hr(보증사용 시간) | |
Decay Time Characteristics
- 거리에 따른 제전 성능
- Vacuum Level : 10⁻⁷ torr
- Charged Voltage : ±1000V → ±100V (150mm x 150mm Plate)
- Window to Charge Plate : 200mm ~ 2000mm
- Vacuum Chamber : Ø400 x 2300L STS Cylinder
- 제전성능은 설치환경 및 조건에 따라 달라질 수 있습니다.
- 압력 변화에 따른 제전 성능
- Vacuum Level : 10⁻¹ ~ 10⁻⁷ torr
- Charged Voltage : ±300V → ±30V (150mm x 150mm Plate)
- Window to Charge Plate : 2000mm
- Vacuum Chamber : Ø400 x 2300L STS Cylinder
- 제전성능은 설치환경 및 조건에 따라 달라질 수 있습니다.
Dimensions
