SHV-H

SHV-H

Home / Business Area / VUV Ionizer / SHV-H Key Features 고진공 환경에서 고속으로 정전기 제거가 가능한 이온 소스 동작 지연 없이 실시간 On/Off 제어 가능 별도의 공정 가스가 필요하지 않아 Chamber 압력에 영향이 없음 자외선 및 유해 파장이 발생하지 않음 별도의 냉각 장치가 필요 없음 설치 Chamber에 맟춤형 Flange 제공 Download 카탈로그와 매뉴얼 및…

SVH-M24

SVH-M24

Home / Business Area / VUV Ionizer / SVH-M24 Key Features 진공자외선(Vacuum Ultra Violet ray)을 이용한 정전기 제거장치 N2, Ar 등 불활성 가스에서 정전기 제거 가능 감압 진공 하에서 최대의 제전 성능 발휘 타사 대비 낮은 발열로 공정 영향 최소화 실시간 On/Off 제어를 통한 UV 광원 노출 최소화 (1초 이내) Head Fail 및 교체에 대한…