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SHV-H
Key Features
- 고진공 환경에서 고속으로 정전기 제거가 가능한 이온 소스
- 동작 지연 없이 실시간 On/Off 제어 가능
- 별도의 공정 가스가 필요하지 않아 Chamber 압력에 영향이 없음
- 자외선 및 유해 파장이 발생하지 않음
- 별도의 냉각 장치가 필요 없음
- 설치 Chamber에 맟춤형 Flange 제공
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기술지원 및 고객센터
Specifications
| Parameter | Description / Value |
|---|---|
| Ion Generation Method | -8-5Electro-Magnetic Field |
| Operation Circumstance | 10⁻⁵ ~ 10⁻⁸ torr |
| Material | SUS 304, Polycarbonate |
| Weight | 2.86kg |
| Warranty | 1 year |
Decay Time Characteristics
- 거리에 따른 제전 성능
- Vacuum Level : 3 X 10⁻⁷ torr
- Charged Voltage : ±1000V → ±100V (150mm x 150mm Plate)
- Window to Charge Plate : 200mm ~ 2000mm
- 당사의 테스트 챔버에서 측정된 것이며, 설치 환경 및 조건에 따라 달라질 수 있습니다.
Dimensions
