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SVH-K24
Key Features
- 진공자외선(Vacuum Ultra Violet ray)을 이용한 정전기 제거장치
- 감압 진공 및 N₂, Ar 등 불활성 가스 환경 대응
- 타사 대비 낮은 발열로 공정 영향 최소화
- 실시간 On/Off 제어를 통한 VUV 광원 노출 최소화 (1초 이내)
- Head Fail 및 교체에 대한 정보가 실시간으로 표시
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기술지원 및 고객센터
VUV를 이용한 정전기 제거
-
진공자외선을 이용해 진공 공정 내
대전된 대상의 정전기를 효과적으로 제거
불활성 가스 환경 대응
-
감압 진공 및 N₂, Ar 등
다양한 공정 환경에 적용
낮은 발열로 공정 영향 최소화
-
장비 온도 상승을 최소화하여
안정적인 공정 운용 지원
빠른 On/Off 제어
-
1초 이내의 빠른 제어로
불필요한 VUV 노출 최소화
기술 특징 및 기대 효과
01. 감압 진공 환경 최적화
고진공·불활성 가스 공정 대응
-
10⁻⁷ Torr 수준의 감압 진공 조건과 N₂, Ar 등
불활성 가스 환경에서 안정적인 제전 성능을 제공하여
다양한 진공 공정에 적용할 수 있습니다.
02. 공정 영향 최소화 설계
낮은 발열과 안정적인 공정 운용
-
장비의 열 발생을 최소화하여
공정 온도 변화와 주변 공정에 미치는 영향을 줄이고
안정적인 운용을 지원합니다.
03. 통합 제어 및 상태 관리
실시간 모니터링과 상위 시스템 연동
- On/Off 제어와 VUV Lamp 동작 상태, 사용시간 및 이상 알람을 확인할 수 있으며, RS-485 Modbus RTU, Remote, Interlock 인터페이스를 통해 PLC 및 상위 시스템과 연동할 수 있습니다.
Applications
| 반도체 제조 공정 | 디스플레이 제조 공정 | 정밀 진공 장비 | 연구 및 특수 공정 |
|---|---|---|---|
 |  |  |  |
| 감압 공정 내 정전기 제거를 통해 공정 안정성과 수율 향상 | 진공 증착·식각 공정에서 대전 현상과 파티클 영향을 저감 | 장비 내부의 정전기를 제어하여 공정 신뢰성과 안정성 향상 | 다양한 진공 환경의 R&D 및 특수 공정에 적용 |
핵심 기술
VUV 이오나이저 제전 원리
진공자외선(VUV)을 조사해 공간 내 잔류 가스를 이온화하여 정전기를 깨끗하게 중화하는 광(빛) 제전 방식
시스템 구성도
Decay Time Characteristics
- 거리에 따른 제전 성능
- Vacuum Level : 10⁻⁷ torr
- Charged Voltage : ±1000V → ±100V (150mm x 150mm Plate)
- Window to Charge Plate : 200mm ~ 2000mm
- Vacuum Chamber : Ø400 x 2300L STS Cylinder
- 제전성능은 설치환경 및 조건에 따라 달라질 수 있습니다.
- 압력 변화에 따른 제전 성능
- Vacuum Level : 10⁻¹ ~ 10⁻⁷ torr
- Charged Voltage : ±300V → ±30V (150mm x 150mm Plate)
- Window to Charge Plate : 2000mm
- Vacuum Chamber : Ø400 x 2300L STS Cylinder
- 제전성능은 설치환경 및 조건에 따라 달라질 수 있습니다.
Specifications
SVH-K24 (Head)
| Parameter | Description / Value | |
|---|---|---|
| Radiant Wavelength Range | 100nm to 200nm | |
| Window Material | MgF2 | |
| Cooling Method | Air cooling by cooling fan | |
| Operation | Temperature | 1℃ to 40℃ |
| Humidity | 20% to 90% RH | |
| Storage | Temperature | -40℃ to 70℃ |
| Humidity | 90% RH | |
| Weight | 0.56kg | |
| Guaranteed Service Life | 1 Year(보증기간) or 2,000Hr(보증사용 시간) | |
SVC-K24 (Controller)
| Parameter | Description / Value | |
|---|---|---|
| Input Power | 24V (± 5%) | |
| Current | Max. 1.5A (Lamp 2개 연결 기준) | |
| Display Specification | LCD | 16 X 2 CLCD |
| LED | 3ea (Lamp1, Lamp2, Interlock) | |
| Local Control | Push Switch 3ea (Set, Enter, Run) | |
| Interface | Input | 5ea (Lamp1/ Lamp2 Remote, Interlock, Sensor Control, Power Input) |
| Output | Lamp1 (4ea) : Run Status, Lamp Status, Overtime Warning, Overtime Alarm | |
| Lamp2 (7ea) : Run Status, Lamp Status, Overtime Warning, Overtime Alarm, Interlock, Power, Clock Out | ||
| Communication | Modbus_RTU 지원 (Address Map 별도 제공) | |
| Weight | 0.62 Kg | |
| Warranty | 1 year | |
Dimensions
SVH-K24 (Standard Head)
SVH-K24 (Option Head)
SVH-K24 (Option Flange)
SVC-K24 (Controller)
함께 확인하면 좋은 제품
SHV
- 고진공 환경에서 고속으로 정전기 제거가 가능한 이온 소스
- 동작 지연 없이 실시간 On/Off 제어 가능
- 별도의 공정 가스가 필요하지 않아 Chamber 압력에 영향이 없음
- 자외선 및 유해 파장이 발생하지 않음
- 별도의 냉각 장치가 필요 없음
- 설치 Chamber에 맟춤형 Flange 제공
SCM-10N
- 이오나이저 제전 성능 실시간 모니터링
- 최대 8대 동시 모니터링 및 대규모 시스템 확장에 용이
- LAN 통신 지원으로 원격 모니터링 가능
- PC 프로그램 연동을 통한 데이터 저장 및 분석
- 사용자 맞춤형 측정 주기 설정 가능